テープ貼付装置
テープマウンターHTM-08M HTM-12M HTM-16M
| ● | 板状のワークにテープを貼付る装置です。 |
| ● | ダイシングテープ、ＰＥＴテープなど多様な貼付に対応できます。 |
| 特徴 | |
| ○高温貼付対応可能 ○「貼付ミス」のない貼付方式採用 ○ＰＥＴテープ対応 ○ウェハー外周の円カット方式 |
○貼付ローラーに圧力可変機構採用 ○吸着固定の確認用に真空計を標準装備 ○ダイシングテープ貼付も対応 |
| 仕様 | ||
| ＨＴＭ－０８Ｍ | ＨＴＭ－１２Ｍ | |
| ワーク | φ８インチサイズまで | φ１２インチサイズまで |
| 貼付テープ | 各種ロールテープ | 各種ロールテープ |
| ワークステージ | テフロンコート全面接触型、真空吸着式 | テフロンコート全面接触型、真空吸着式 |
| ワーク位置決め | 目視合わせ | 目視合わせ |
| ワークステージ温度 | 室温～６０℃ | 室温～６０℃ |
| 貼付ローラー | ウレタンゴム | ウレタンゴム |
| 貼付圧力 | 圧力可変 最大１０ｋｇ／ローラー | 圧力可変 最大１０ｋｇ／ローラー |
| 円カッター | ウェハー外周カット | ウェハー外周カット |
| 直線カッター | ロール側との切り離し | ロール側との切り離し |
| テープセパレーター | 自動巻取り | 自動巻取り |
| 電源 | AC100V 5A 50/60Hz | AC100V 5A 50/60Hz |
| 装置寸法 | 480(W)x750(D)X410(H)mm | 650(W)x810(D)X410(H)mm |
| 装置重量 | ２０ｋｇ | ３０ｋｇ |
| ※ダイシングテープの貼り付け用途では、６インチサイズまでです。 | ※ダイシングテープの貼り付け用途では、８インチサイズまでです。 | |
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