| ● | 紫外線を照射しUVテープの粘着を無くす装置です。 |
| ※CCFL(冷陰極蛍光ランプ)光源タイプ です。 |

| 特徴 | |
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○CCFL(冷陰極蛍光ランプ)採用 ○簡単操作 ○点滅に強い長寿命ランプ ○軽量、コンパクト構造 |
○窒素用圧力計、流量計装備 ○各種UVテープ対応 ○ローランニングコスト |
| 仕様 | UCC-12M | UCC-16M |
| ワーク | 8インチダイシングフレームまで | 12インチダイシングフレームまで |
| UVランプ | CCFL(冷陰極蛍光ランプ) | |
| UV波長 | 350~360nm | |
| UV照度 | 20mW/c㎡ 以上 | |
| ワークステージ | 窒素チャンバー付 | |
| ワーク位置決め | ザグリに落とし込み | |
| 照射時間 | 任意設定 | |
| 冷却 | なし | |
| 窒素 | 任意導入 | |
| 装置寸法 | 430(W)x430(D)x240(H)mm | 540(W)x540(D)x240(H)mm |
| 装置重量 | 20kg | 30kg |
| ※ UV照度は、社内測定値です。保証値ではありません。 | ||