セミオートテープ貼付装置
STM-12 STM-16
| ● | 板状のワークにテープを貼付る装置です。 |
| ● | 貼付圧力、速度、温度が任意に設定管理できます。 |
| ● | 仕様変更でＤＡＦ対応も可能です。 |
| 特徴 | |
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○貼付の自動化、品質安定化を実現 ○貼付圧力の数値設定＆モニター ○貼付速度の数値設定＆モニター ○真空の数値モニター |
○エアー圧力の数値モニター ○ＰＥＴを含む各種テープ対応 ○コンパクト設計、卓上型 |
| 仕様 | STM-12 | STM-16 |
| ワーク単体 | φ12インチまで | φ16インチまで |
| ダイシングフレーム | 最大8インチ用 | 最大12インチ用 |
| ワークステージ | テフロンコート全面接触型、真空吸着式 | |
| ワーク位置決め | 目視合わせ方式 | |
| ワークステージ温度 | 室温～６０℃ | |
| 貼付ローラー | 圧力可変 最大１２ｋｇ／ローラー | |
| 円カッター | ウェハー外周カット 又はダイシングフレーム上カット | |
| 直線カッター | ロール側との切り離し | |
| テープセパレーター | 自動巻取り | |
| 装置寸法 | 850(W)ｘ550(D)ｘ470(H)mm | 1000(W)ｘ650(D)ｘ470(H)mm |
| 装置重量 | 50kg | 70kg |
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